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J-GLOBAL ID：200903057051613047
ダイヤモンドの合成装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福村 直樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992336315
Publication number (International publication number)：1994183887
Application date： Dec. 16, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 この発明の目的は、均一な膜厚を有すると共に結晶性に優れたダイヤモンド膜を大きな成膜速度で製造することのできるダイヤモンドの合成装置。【構成】 この発明のダイヤモンドの合成装置は、マイクロ波プラズマを用いた気相法ダイヤモンド合成装置において、マイクロ波導波管の反応器に近接した部位におけるE面の内壁が、導波管内空隙部の横断面を該反応器方向に向かって縮小するように形成した導波管を備えてなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
マイクロ波プラズマを用いた気相法ダイヤモンド合成装置において、マイクロ波導波管の反応器に近接した部位におけるE面の内壁が、導波管内空隙部の横断面を該反応器方向に向かって縮小するように形成した導波管を備えてなることを特徴とするダイヤモンドの合成装置。
IPC (2)：
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