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J-GLOBAL ID：200903057060104880

磁気記録媒体

Inventor： 喜々津 哲 ,  市原 勝太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995205608
Publication number (International publication number)：1997054949
Application date： Aug. 11, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 保磁力が大きく、結晶粒子間の交換結合相互作用の小さな磁性体薄膜を備え、高密度記録が可能な磁気記録媒体を提供する。【解決手段】 非磁性基体上に磁性体薄膜よりなる磁気記録層をスパッタリング法により形成して成る磁気記録媒体において、非磁性基体に入射するスパッタリングガスのエネルギーが0.001 eV以上10eV以下となるようにして、磁性体薄膜が形成されている。Co合金からなる磁性体薄膜の作製に適し、チャンバー内に冷却されたスパッタリングガスを導入したり、チャンバー内を差動排気してスパッタすることにより、入射ガスエネルギーが上記範囲内にあるように制御して、製造される。

Claim (excerpt)：

非磁性基体上に磁性体薄膜よりなる磁気記録層をスパッタリング法により形成して成る磁気記録媒体において、前記非磁性基体に入射するスパッタリングガスのエネルギーが0.001 eV以上10eV以下となるようにして、前記磁性体薄膜が形成されていることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (3)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/66

FI (4)：

G11B 5/85 C ,  C23C 14/34 R ,  C23C 14/34 M ,  G11B 5/66