Pat
J-GLOBAL ID：200903057060246685
走査型近視野原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993276708
Publication number (International publication number)：1995128039
Application date： Nov. 05, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】 試料の光透過性や導電性の有無にかかわらず、試料の表面形状および光特性の測定を高解像度で行うことができる装置の実現を容易にすること。【構成】 プローブ1を有するカンチレバー2の上方にレーザー光源3、集光レンズ4、光電変換素子5が設置されており、レーザー光源3のレーザー光は、集光レンズ3によってカンチレバー2の背面に集光され、反射光が光電変換素子5に導入される。光情報測定用の光源10から放出された光は、コリメートレンズ11を介してプリズム12上の試料13に裏面から照射され、試料13に近接したプローブ1の先端に光が導入され、光伝送器6を介して光電変換素子7に導入される。装置全体の動作はコンピュータ24により制御されている。
Claim (excerpt)：
端部に光を透過する透過孔を有する光伝搬媒体からなり、透過孔部が尖鋭な先端部と成るように構成されたプローブを有するカンチレバーと、端部に光を透過する透過孔を有する光伝搬媒体からなり、透過孔部が平面あるいは凸面であり透過光面が前記プローブの背面に近接して設置されている光伝送器と、試料に光を照射する光源および光学系と、試料からの光を受ける光電変換素子および光学系と、カンチレバーのたわみを光学的に検出するためのたわみ検出手段と、試料と尖鋭化プローブを相対移動させる粗動機構および微動機構と、試料と尖鋭化プローブ間の距離を制御する制御手段と、装置全体を制御するコンピュータを有し、試料表面の形状および光学的特性を観察する走査型近視野原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
G01B 11/30 102
, H01J 37/28
