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J-GLOBAL ID：200903057117144396

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 亀山 泰弘 ,  新実 高明
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997184926
Publication number (International publication number)：1999030857
Application date： Jul. 10, 1997
Publication date： Feb. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 感度、解像力、パターン形状が良好で、保存性の良好なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (a)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基が酸不安定基で保護された樹脂、(b)放射線の作用により酸を発生する化合物および(c)フェノール性水酸基を有する重量平均分子量が1000を越え50000以下の樹脂と1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基が酸不安定基で保護された樹脂、(b)放射線の作用により酸を発生する化合物および(c)フェノール性水酸基を有する重量平均分子量が1000を越え50000以下の樹脂と1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/023 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/023 501 ,  C08K 5/42 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R