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J-GLOBAL ID：200903057120456773

熱線遮断膜とその製造方法

Inventor： 宮崎 正美 ,  安藤 英一
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993324183
Publication number (International publication number)：1995178866
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】【構成】基体1上に酸化物膜2、金属膜3、酸化物膜6、とが交互に積層された(2n+1)層(n≧1)において、酸化物膜のうち少なくとも1層は、ZnO-Ga2 O3 ターゲットを無酸素雰囲気でスパッタして得られるGaを添加した酸化亜鉛膜である熱線遮断膜とその製造方法。【効果】無酸素雰囲気で製膜でき、金属バリア層が不要となるとともに、可視光透過率、熱線遮断性能、生産性が、著しく改善されている。

Claim (excerpt)：

基体上に酸化物膜、金属膜、酸化物膜、とが交互に積層された(2n+1)層(n≧1)からなる熱線遮断膜において、酸化物膜のうち少なくとも1層は、ZnO-Ga2 O3 ターゲットを無酸素雰囲気でスパッタして得られるGaを添加した酸化亜鉛膜であることを特徴とする熱線遮断膜。

IPC (8)：

B32B 15/04 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C01G 15/00 ,  C03C 17/36 ,  C08K 3/08 ,  C08K 3/22 ,  C23C 14/34