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J-GLOBAL ID:200903057122503540
パターン読み出し方法およびパターン読み出し装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998074545
Publication number (International publication number):1999272791
Application date: Mar. 23, 1998
Publication date: Oct. 08, 1999
Summary:
【要約】【課題】 透明なパターンを高い読み取り率で読み出すことができる方法および装置を提供する。【解決手段】 試料(1)上に形成された赤外光を吸収する材料を含有する不可視のパターンを加熱する手段(13)と、加熱によりパターンから発せられる赤外光を検出する検出手段(17)と、検出手段(17)により得られた検出信号を二値化する演算ユニット(21)とを有するパターン読み出し装置であって、演算ユニット(21)は、試料(1)上での位置に対応する検出信号の微係数を算出し、微係数に関して設定された上下2つのしきい値を基準として上しきい値を超える領域での微係数の極値と下しきい値未満の領域での微係数の極値とを決定し、これらの極値を二値関数の立ち上がりまたは立ち下がりとして二値化する。
Claim (excerpt):
試料上に形成された赤外光を吸収する材料を含有する不可視のパターンを加熱することにより発せられる赤外光を検出し、試料上での位置に対応する検出信号の微係数を算出し、微係数に関して設定された上下2つのしきい値を基準として上しきい値を超える領域での微係数の極値と下しきい値未満の領域での微係数の極値とを決定し、これらの極値を二値関数の立ち上がりまたは立ち下がりとして二値化することを特徴とするパターン読み出し方法。
IPC (4):
G06K 7/12
, G06K 7/00
, G06K 7/10
, G06K 19/06
FI (4):
G06K 7/12 Z
, G06K 7/00 F
, G06K 7/10 G
, G06K 19/00 A
Patent cited by the Patent: