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J-GLOBAL ID：200903057127839830

製品の光学的認識方法及び装置

Inventor： 小野 知
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998227184
Publication number (International publication number)：2000055820
Application date： Aug. 11, 1998
Publication date： Feb. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウェーハ等の製品の表面上に当該製品を識別するために付された識別標識(ID)を読み取る場合において、たとえその周囲に傷、膜の異なる個所等があっても、当該識別標識を正確に読みとのことのできる、識別標識の光学的認識方法及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】 識別標識の表面に対して角度の異なる複数の位置から当該製品の識別標識に対して光を照射して、各照射位置における認識結果から最適値を自動的に選択して、当該識別標識の認識結果とすることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

製品の表面上に当該製品を識別するために付された識別標識を光学的に認識する方法において、前記表面に対して角度の異なる複数の位置から当該製品の識別標識に対して光を照射して、各照射位置における認識結果から最適値を自動的に選択して、当該識別標識の認識結果とすることを特徴とする製品の光学的認識方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G01J 1/04

FI (2)：

G01N 21/88 E ,  G01J 1/04 G

F-Term (15)：

2G051AA01 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CB01 ,  2G051EA30 ,  2G065AB22 ,  2G065AB28 ,  2G065AB30 ,  2G065BC40 ,  2G065CA29 ,  2G065CA30 ,  2G065DA20