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J-GLOBAL ID：200903057129337734

光導波路デバイスの位置合わせ装置

Inventor： 岩崎 豊 ,  大木 裕史 ,  岩崎 純
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992265556
Publication number (International publication number)：1994094936
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単にかつ高精度に、光導波路デバイス入射面と入射光スポットの相対的位置合わせを行うことができる位置合わせ装置を提供する。【構成】 被検基板1上には、光導波路デバイス(光スイッチング網3)が形成されていると共に、位置合わせ用のダブルモード導波路4,5、ダブルモード導波路4,5からの出射光を分岐させる導波路分岐手段6,7、分岐された光をそれぞれ独立に検出する光検出12,13,14,15が設けられている。光検出器12と13及び14と15の差信号出力に基づいて、光ファイバアレイ2と光導波路デバイス入射面との相対的な位置ズレ量、ズレ方向が検知される。

Claim (excerpt)：

被検基板上に形成された光導波路デバイスの入射面と該入射面に入射させるべき入射光のスポットとを相対的に位置合わせするための装置であって、前記被検基板又は該被検基板と一定の位置関係にある位置合わせ用基板上に形成されたダブルモード導波路と、前記光導波路デバイスに入射させるべき入射光スポットと一定の位置関係を有し前記ダブルモード導波路に入射させる光を射出する発光手段と、前記ダブルモード導波路からの出射光を分岐させる導波路分岐手段と、該導波路分岐手段により分岐された光をそれぞれ独立に検出する光検出手段とを備え、該光検出手段からの信号に基づいて前記光導波路入射面と前記入射光スポットの相対的な位置合わせを行うことを特徴とする光導波路デバイスの位置合わせ装置。