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J-GLOBAL ID：200903057134744380

6軸力センサ

Inventor： 平林 祐輔 ,  大里 毅
Applicant, Patent owner： 本田技研工業株式会社
Agent (1)： 下田 容一郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002059447
Publication number (International publication number)：2003254843
Application date： Mar. 05, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：

【要約】【課題】 他軸干渉の問題を抑制し、測定可能な軸力のレベルを飛躍的に高め、応用範囲を拡大し、実用化に寄与する6軸力センサを提供する。【解決手段】 半導体基板を利用して形成され、かつ少なくとも外力を受ける作用部21およびこの作用部を支持する支持部22を有する6軸力センサチップ11と、当該6軸力センサチップの周囲に配置され、外力が加わる外力印加板34、6軸力センサチップを支持する台座部12、外力印加板を台座部に固定する外力緩衝機構(31,32,33)、外力伝達機構である連結ロッド17から成る構造体を備える。外力印加板34と作用部21が連結ロッド17で連結されている。

Claim (excerpt)：

半導体基板で形成され、外力を受ける作用部とこの作用部を支持する支持部を少なくとも有する6軸力センサチップと、前記6軸力センサチップの周囲に配置され、前記外力が加わる外力印加部と、前記6軸力センサチップを支持する台座部と、前記外力印加部を前記台座部に固定する外力緩衝機構と、外力伝達機構とから成る構造体を備え、前記外力印加部と前記作用部が前記外力伝達機構で連結されていることを特徴とする6軸力センサ。

IPC (3)：

G01L 5/16 ,  B25J 19/02 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01L 5/16 ,  B25J 19/02 ,  H01L 29/84 A

F-Term (24)：

2F051AA10 ,  2F051AB09 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03 ,  3C007KS33 ,  3C007KV00 ,  3C007KV06 ,  3C007KW03 ,  3C007KW05 ,  4M112AA04 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112DA03 ,  4M112DA06 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112DA15 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-087622
  
• 特公昭63-061609
  
• 特公平6-017839