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J-GLOBAL ID：200903057136437990

加速度センサおよび加速度センサの製造方法

Inventor： 根津 正弘 ,  森 雅友 ,  松永 忠雄 ,  納谷 六郎 ,  鈴木 章悟
Applicant, Patent owner： 曙ブレーキ工業株式会社 ,  日本インター株式会社
Agent (1)： 沼形 義彰 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996210056
Publication number (International publication number)：1998048243
Application date： Aug. 08, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 二層構造によって、質量部の変位量を規制した加速度センサおよび加速度センサの製造方法を提供する。【解決手段】 中心質量部11と複数の周辺質量部13からなる質量部10と、該質量部の周辺に配置された支持部15と、前記質量部と前記支持部とを接続する可撓性を有する梁部12とが一体に形成された第1の基板1と、中央部に位置する錘部46と該錘部と溝41,42を介して分離されその周辺に配置された台座45とからなる第2の基板4とからなり、中心質量部11と錘部46、支持部15と台座45をそれぞれ接合して一体化し、錘部46の溝42と連なる上面端部に凹部44を、台座45の溝41と連なる上面端部に凹部44を形成し、錘部の凹部44の上方に間隔をおいて支持部15の下面を配置し、台座45の凹部43の上方に間隔をおいて周辺質量部13の下面を配置した加速度センサ。

Claim (excerpt)：

支持部に可撓的に支持された質量部と、支持部を固定する台座と、質量部に固定された錘部とからなる加速度センサにおいて、質量部と台座および支持部と錘部の間で錘部の上下動を規制するようにした加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84 A