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J-GLOBAL ID：200903057136569969
原子間力顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994292460
Publication number (International publication number)：1996146018
Application date： Nov. 28, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料を固定した状態で、探針側を走査して、円滑かつ正確に測定を行うことができ、従来では不可能であった大型・大面積の試料を非破壊状態で測定することができる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 共焦点レンズ107及び探針110を備えたZ方向走査ブロック23と、Z方向走査ブロック23を試料41表面に対し垂直方向に移動させるZ方向スキャナー26と、Z方向走査ブロック23、Z方向スキャナー26及びミラー106を備えたX方向走査ブロック21と、X方向走査ブロック21を試料41表面に対し平行な面内の第1の軸方向に移動させるX方向スキャナー24と、X方向走査ブロック21、X方向スキャナー24、検出光放射系101、102、104、105及び変位検出系105、104、111、112を備えたY方向走査ブロック22と、Y方向走査ブロック22を試料41表面に対し平行な面内の第1の軸方向に直交する第2の軸方向に移動させるY方向スキャナー25とを備えることを特徴とする
Claim (excerpt)：
検出光放射系より放射された略平行な変位検出光を、ミラーによって略直角方向に方向を変えて共焦点レンズに導き、この共焦点レンズによって変位検出光を探針の反射面近傍に集光させ、試料表面との間に働く原子間力により変位する探針の前記反射面より反射する前記変位に応じて反射角が異なる反射光を前記共焦点レンズに導き、次いで前記ミラーによって略直角方向に方向を変えて変位検出系に導き、ここで探針の変位を拡大して検出する原子間力顕微鏡において、前記共焦点レンズ及び探針を備えたZ方向走査ブロックと、Z方向走査ブロックを試料表面に対し垂直方向に移動させるZ方向スキャナーと、前記Z方向走査ブロック、前記Z方向スキャナー及び前記ミラーを備えたX方向走査ブロックと、X方向走査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第1の軸方向に移動させるX方向スキャナーと、前記X方向走査ブロック、前記X方向スキャナー、前記検出光放射系及び前記変位検出系を備えたY方向走査ブロックと、Y方向走査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第1の軸方向に直交する第2の軸方向に移動させるY方向スキャナーとを備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 37/00
, G01B 11/00
, H01J 37/28
, G01B 21/30
