Pat

J-GLOBAL ID：200903057136939979

表面弾性波素子用電極

Inventor： 中山 正俊 ,  佐藤 勝男 ,  初田 蘭子 ,  柴原 正典
Applicant, Patent owner： テイーデイーケイ株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991211449
Publication number (International publication number)：1993037284
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 表面弾性波素子と電極の結合力を向上させること。【構成】 ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と、Al又はAlを主成分と電極層と、圧電体層とをこの順に有する表面弾性波素子において、前記ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と前記電極層との間に、AlN、Si3 N4 、SiO2 、ZnO、Al2 O3 より選択した中間層を介在させたことを特徴とする。【効果】 表面弾性波素子と電極の結合力が向上したこと。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と、Al又はAlを主成分と電極層と、圧電体層とをこの順に有する表面弾性波素子において、前記ダイヤモンド又はダイヤモンド状層と前記電極層との間に、AlN、Si3N4 、SiO2 、ZnO、Al2 O3より選択した中間層を介在させたことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-020910
  
• 特開昭64-020714