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J-GLOBAL ID：200903057141985040

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 中村 久和
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997021113
Publication number (International publication number)：1998221712
Application date： Feb. 04, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 コンタクトホールを形成する工程数を削減し、さらに良好なコンタクトを得る。【解決手段】 絶縁層上に画素電極が形成され、前記絶縁層に設けたコンタクトホールにより下部電極と前記画素電極を接続し、前記絶縁層の最上層が有機樹脂からなる液晶表示装置の製造方法において、有機樹脂からなる最上層の絶縁層を形成し、前記絶縁層上にエッチングマスクとして使用する有機膜を形成し、前記有機膜にコンタクトホール部をパターニングし、前記パターニングされた有機膜をエッチングマスクとしてドライエッチングにより前記絶縁層にコンタクトホールを形成する。

Claim (excerpt)：

絶縁層上に画素電極が形成され、前記絶縁層に設けたコンタクトホールにより下部電極と前記画素電極を接続し、前記絶縁層の最上層が有機樹脂からなる液晶表示装置の製造方法において、有機樹脂からなる最上層の絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上にエッチングマスクとして使用する有機膜を形成する工程と、前記有機膜にコンタクトホール部をパターニングする工程と、前記パターニングされた有機膜をエッチングマスクとしてドライエッチングにより前記絶縁層にコンタクトホールを形成する工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (5)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/3213

FI (5)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 Z ,  H01L 21/302 F ,  H01L 21/88 D