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J-GLOBAL ID：200903057142014006
位置決め装置、アライメント装置、及び、位置決め方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡部 正夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995075223
Publication number (International publication number)：1996166475
Application date： Mar. 31, 1995
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】対象物の運動により生ずる反力及び振動が、レンズ系の如き他の要素に伝達しないように、対象物を支持、位置決め、及び、制御する。【構成】外部振動、及び、対象物ステージ30からの反力によって生ずる振動を絶縁する反作用フレーム61を備える。対象物ステージは2つの方向に運動する。反作用フレームは、2つの従動子を備える。協働する直動型の力アクチュエータが、対象物ステージ及び従動子にに設けられ、対象物ステージを第1及び第2の方向において位置決めする。反作用フレームは、ベース構造に取り付けられ、対象物ステージは、反作用フレームと独立して空間に支持される。従動子72は、一対のアーム74、74’を有し、対象物ステージの重心がある一対の平行な平面の中で運動する。アクチュエータ駆動手段の位置決め力は、対象物ステージの重心における力のモーメントのベクトル和が、実質的にゼロになるように制御される。
Claim (excerpt)：
ベース構造上で作動する位置決め装置において、(a) 前記ベース構造に取り付けられた反作用フレームを含む反作用フレームアセンブリと、(b) 対象物ステージのベースに対して相対的に運動する対象物ステージと、(c) 前記反作用フレームとは独立して前記対象物ステージを前記対象物ステージのベースから間隔をおいて支持するための手段と、(d) 前記対象物ステージ及び前記反作用フレームアセンブリに取り付けられ、前記対象物ステージを位置決めするための一対になって協働し、力を発生する直動型のアクチュエータ手段とを備え、前記対象物ステージのベース及び前記対象物ステージが、前記アクチュエータ手段からの反力から絶縁され、これにより、前記対象物ステージのベース及び前記対象物ステージへの振動の伝達が最小となることを特徴とする位置決め装置。
IPC (2)：
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