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J-GLOBAL ID：200903057142696344

高速原子線源

Inventor： 渡辺 賢治 ,  畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995141330
Publication number (International publication number)：1996190995
Application date： May. 16, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 低ガス圧で放電し、高い中性化率が得られ、多量のビーム量が得られ、且つ指向性の良い高速原子線源を提供する。【構成】 原子放出孔を有する第1の板状陰極21と、陰極に対向した孔25を有する板状の陽極22と、陽極孔25を挟みかつ第1の板状陰極21に対向して設置された第2の板状陰極23とを備えた容器24と、相対的な印加電圧として、第1及び第2の陰極21,23に低電位、板状の陽極22に高電位を与える手段と、容器24内に放電を起こすガスを導入するガス導入部4と、容器内の放電部に磁場を発生させる磁場発生器28とを備え、板状の陽極22に設けられている孔25の直径もしくは一辺の長さCが、板状の陽極22の厚みAの3倍より大きい。又、板状の陽極22に設けられている孔の直径もしくは一辺の長さ(φd)が、容器の内壁径もしくは一辺の長さ(φD)に対し、80%以上である。

Claim (excerpt)：

原子放出孔を有する第1の板状陰極と、一つ以上の孔を有する板状の陽極と、前記第1の板状陰極とは別の第2の板状陰極が、前記板状の陽極を挟みかつその板状の陽極に対向して設置されており、相対的な印加電圧として、前記第1及び第2の陰極に低電位、前記板状の陽極に高電位を与える手段と、前記第1及び第2の陰極と板状の陽極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部と、放電部に磁場を発生させる磁場発生器とを備え、前記板状の陽極に設けられている孔の直径もしくは一辺の長さが、前記板状の陽極の厚みの3倍より大きいことを特徴とする高速原子線源。

IPC (3)：

H05H 3/02 ,  G21K 5/04 ,  H01J 27/04