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J-GLOBAL ID：200903057188189129

酸素センサ

Inventor： 木村 光照
Applicant, Patent owner： 木村 光照 ,  リコー精器株式会社
Agent (1)： 佐竹 良明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991349715
Publication number (International publication number)：1993157729
Application date： Dec. 07, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 多孔質基板を用いない、消費電力の小さな酸素センサを得る。【構成】 基板10上に形成された電気絶縁体薄膜15であって、該基板にあけられた穴27の上に位置している部分15aに薄膜ヒータ14を形成する。この薄膜ヒータの上に、電極21,23で両側を挟んだジルコニア固体電解質の薄膜22を密着形成する。そして、これら電極の一方21が被検ガスにさらされるよう、薄膜ヒータおよび電気絶縁体薄膜に基板の穴と連通する透孔28をあける。そして、限界電流特性を得るために、基板にあいている穴を、上側は電気絶縁体薄膜15で、下側は閉塞部材29でそれぞれ塞ぎ、これら電気絶縁体薄膜または閉塞部材のいずれかに被検ガスが拡散するための小孔30,31をあける。

Claim (excerpt)：

基板(10)上に形成された電気絶縁体薄膜(15)であって、該基板にあけられた穴(27)の上に位置している部分(15a)に薄膜ヒータ(14)が密着形成され、電極(21,23)で両側を挟んだジルコニア固体電解質の薄膜(22)が該薄膜ヒータ上にさらに密着形成されており、該電極の一方(21)が被検ガスにさらされるよう、該薄膜ヒータおよび該電気絶縁体薄膜に該穴と連通する透孔(28)があいている酸素センサ。

FI (3)：

G01N 27/46 325 E ,  G01N 27/46 325 H ,  G01N 27/46 325 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭59-166854
  
• 特開昭61-147154
  
• 特開昭63-259459
  
• 特公昭49-019838