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J-GLOBAL ID：200903057211715968

レンズ面形状評価方法及び形状評価装置

Inventor： 新保 晃平
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 園田 敏雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000132571
Publication number (International publication number)：2001318025
Application date： May. 01, 2000
Publication date： Nov. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】形状測定結果より光学特性を推定し、これに基づいてレンズ性能を評価することにより、任意のレンズ面に適応可能で、光学特性との相関の高い形状評価法を提供すること。【解決手段】被測定物の輪郭形状測定を行う形状測定行程と、設計形状からの偏差である形状誤差を求める形状誤差抽出行程と、形状誤差から各レンズ高さにおける部分曲率を求める部分曲率導出行程と、各レンズ高さにおける単位曲率あたりの像面での光軸方向の焦点ずれ量である曲率比例係数を求め、これと部分曲率より焦点ずれ量を推定する焦点ずれ量推定行程からなるよう構成したこと。また、形状誤差抽出行程が、全部または一部の座標データに対して並進、回転座標変換をした後、設計形状からの偏差を求め、この自乗和を最小化するような一部または全部の並進量、回転角の最適値を求める取り付け誤差補正行程と、最適化された並進、回転変換をした後の設計形状からの差を求める設計形状分離行程とからなるよう構成したこと。

Claim (excerpt)：

被測定物の輪郭形状測定を行う形状測定行程と、設計形状からの偏差である形状誤差を求める形状誤差抽出行程と、形状誤差から各レンズ高さにおける部分曲率を求める部分曲率導出行程と、各レンズ高さにおける単位曲率あたりの像面での光軸方向の焦点ずれ量である曲率比例係数を求め、これと部分曲率より焦点ずれ量を推定する焦点ずれ量推定行程からなることを特徴とするレンズ面形状の評価方法。

IPC (2)：

G01M 11/00 ,  G01B 21/20 101

FI (2)：

G01M 11/00 L ,  G01B 21/20 101 Z

F-Term (13)：

2F069AA17 ,  2F069AA53 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069EE00 ,  2F069NN00 ,  2F069NN05 ,  2F069NN16 ,  2F069NN17 ,  2F069NN18 ,  2G086FF01 ,  2G086FF03 ,  2G086FF04