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J-GLOBAL ID：200903057222571178

加速度センサ

Inventor： 中 村 武
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996021756
Publication number (International publication number)：1997196965
Application date： Jan. 12, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 静止加重から加速度までを検出することができ、温度ドリフトの少ない加速度センサを得る。【解決手段】 加速度センサ10は、8字状に形成した第1および第2の振動体12,14および連結部16,18,20を含む。中央部の連結部20から延びるように延長部22a,22bを形成し、その先端に重り24を取り付ける。第1および第2の振動体12,14の縁部に形成した支持部26a,26bを支持する。第1および第2の振動体12,14の同じ側の面に、第1および第2の圧電素子28,30を形成する。第1および第2の圧電素子28,30は、それぞれ分割した電極36a,36bおよび電極42a,42bを含む。電極36a,36bおよび電極42a,42bは、第1および第2の振動体12,14の長手方向の中央部を境として、その両側に配置される。

Claim (excerpt)：

2つの板状の振動体、前記2つの振動体の両端および中央部を連結するための連結部、前記2つの振動体の同じ側の面に形成され、2つの入出力部を有する圧電素子、および前記振動体の中央部に対応する位置に配置され、前記振動体に加速度による慣性力を得るための重りを含み、加速度によって2つの前記振動体が逆向きに変形するようにした、加速度センサ。

IPC (3)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/02 ,  G01P 21/00

FI (3)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/02 A ,  G01P 21/00