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J-GLOBAL ID：200903057303577197
検査システムおよび分析装置並びに分析データ表示方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998166598
Publication number (International publication number)：1998326812
Application date： Nov. 28, 1990
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明の目的は、どんな成分の異物がウェハ上でどのように分布しているか明らかにするものである。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、ウエハを検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力するように構成したものである。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易になる。
Claim (excerpt)：
ウエハを検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力するように構成したことを特徴とする検査システム。
IPC (2)：
FI (4)：
H01L 21/66 A
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/02 Z
