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J-GLOBAL ID:200903057304649388

セグメント化された炭化水素-フッ化炭化水素スルホネートアニオンを有するイオン光酸発生剤

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  西山 雅也
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2004550062
Publication number (International publication number):2006504785
Application date: Oct. 10, 2003
Publication date: Feb. 09, 2006
Summary:
光活性カチオン部分およびセグメント化された高度にフッ素化された炭化水素アニオン部分を含む光酸発生剤塩が開示され、光酸発生剤塩は高い光酸強度を提供し、溶解度および極性に関して調整することが可能である。本発明は、ミクロ平版印刷のためのフォトレジストおよび光重合のような用途のための光開始酸触媒プロセスにおいて用いられるような光酸発生剤に更に関連する。
Claim (excerpt):
(a)i.遷移金属含有有機金属カチオン ii.有機オニウムカチオンまたは iii.それらの混合物 の少なくとも1種を含むカチオンおよび (b)式-O3S-Rf-Q-(Rh-Zm)n (式中、 Rfは高度にフッ素化された二価アルキレン部分であり、 Rhは炭化水素部分であり、 nは1〜2であり、 mは独立して1〜3であり、 Q基は、共有結合、
IPC (6):
C07C 311/09 ,  C07C 25/02 ,  C08F 2/50 ,  C08G 59/68 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/029
FI (6):
C07C311/09 ,  C07C25/02 ,  C08F2/50 ,  C08G59/68 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/029
F-Term (30):
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025CA48 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB81 ,  4H006EA21 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011QA01 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011SA61 ,  4J011SA83 ,  4J011SA87 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J036AA01 ,  4J036GA01 ,  4J036GA26 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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