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J-GLOBAL ID:200903057307178017
気体捕集装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤本 博光
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992263530
Publication number (International publication number):1994117977
Application date: Oct. 01, 1992
Publication date: Apr. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 捕集に関与した雰囲気総量を正確に把握できるようになり、かつ、効率よくアンモニアが捕集できるため、クリーンルーム等の清浄な雰囲気の中でアンモニアを効率良く捕集することができる。【構成】 気体捕集装置は、例えばスチロールからなる容器1が(一段目、二段目と)2つ直列に配列されており、二段目の容器1の後流側には、ポンプ4が配設されている。各容器1には、気体導入口6、8と、気体排出口7、9が設けられている。また、容器1は、気体導入口6、8、気体排出口7、9以外は、密閉されて構成されており、吸収液2の純水がほぼ1/4〜3/4程まで収納され、吸収液の上部と容器1の内壁の間には導入気体を流通させるための空間が形成されている。ポンプ4が作動すると雰囲気の気体が容器1内に流入して吸収液2に接して、気体中のアンモニアは吸収液2に捕集される。
Claim (excerpt):
対象領域中の気体を導入し、導入された気体中の目標不純物を捕集する気体捕集装置において、前記気体の導入口及び排出口以外は全体が密閉されていて、内部に、該導入口及び排出口に連通する空間が形成されるように目標不純物の吸収液が収納された捕集容器と、前記導入口から導入した気体を、前記吸収液の表面に接するように前記空間に流通させ排出口から排出するようにしたことを特徴とする気体捕集装置。
IPC (3):
G01N 1/22
, G01N 30/00
, G01N 31/00
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