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J-GLOBAL ID：200903057315137001

半導体薄膜の形成方法及びそれを用いた薄膜トランジスタの製造方法

Inventor： 国井 正文
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 鈴木 晴敏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001056206
Publication number (International publication number)：2002261290
Application date： Mar. 01, 2001
Publication date： Sep. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 理想的なMOS構造界面を保ちつつ、大粒径の多結晶半導体薄膜を形成し、これを用いて高性能の薄膜トランジスタを製造する。【解決手段】 薄膜トランジスタを製造する為、絶縁性の基板0上に非単結晶の半導体薄膜5を成膜する成膜工程と、酸化能力が有る気体を含む加圧雰囲気下で半導体薄膜5の表面を熱酸化して酸化膜3を生成する熱酸化工程と、酸化膜3を介して半導体薄膜5にエネルギービームを照射して、半導体薄膜5を非単結晶から多結晶に転換する結晶化工程とを行なう。酸化膜3越しにエネルギービームを照射することで、半導体薄膜5酸化膜3との間に平坦な界面を形成することができる。又、酸化能力が有る気体を含む加圧雰囲気下で半導体薄膜5の表面を熱酸化する為、半導体薄膜5に残留していた水素は加熱でほとんど放出される。従って、酸化膜3越しにエネルギービームを照射する段階では、半導体薄膜5に水素がほとんど残留していないので、突沸する恐れはない。

Claim (excerpt)：

絶縁性の基板上に非単結晶の半導体薄膜を成膜する成膜工程と、酸化能力が有る気体を含む加圧雰囲気下で該半導体薄膜の表面を熱酸化して酸化膜を生成する熱酸化工程と、該酸化膜を介して該半導体薄膜にエネルギービームを照射して、該半導体薄膜を非単結晶から多結晶に転換する結晶化工程とを行うことを特徴とする半導体薄膜の形成方法。

IPC (7)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (7)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z ,  H01L 29/78 627 G ,  H01L 29/78 617 V

F-Term (104)：

2H092GA29 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA46 ,  2H092JB57 ,  2H092KA04 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA17 ,  2H092MA25 ,  2H092MA29 ,  2H092MA30 ,  2H092NA21 ,  2H092NA25 ,  3K007AB18 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  3K007FA03 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5F052AA02 ,  5F052AA11 ,  5F052AA17 ,  5F052BB07 ,  5F052CA01 ,  5F052CA02 ,  5F052CA09 ,  5F052DA02 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA01 ,  5F052EA06 ,  5F052EA15 ,  5F052FA19 ,  5F052JA01 ,  5F110AA17 ,  5F110AA26 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD07 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE28 ,  5F110FF02 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL01 ,  5F110HL06 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN05 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN34 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110NN78 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP11 ,  5F110PP29 ,  5F110PP31 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ10 ,  5F110QQ24