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J-GLOBAL ID：200903057330046314

表面弾性波素子および表面弾性波素子の製造方法

Inventor： 鹿田 真一 ,  八郷 昭広 ,  中幡 英章 ,  桧垣 賢次郎
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992243319
Publication number (International publication number)：1994097760
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 耐マイグレーション特性に優れ、電極が断線しにくく、信頼性の高い、また、耐用寿命の長い表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生し、これを取出すために1対の電極とを備える表面弾性波素子であって、電極の少なくとも一方がダイヤモンド層の表面上に気相成長によりエピタキシャル成長させた銅電極であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド層と、前記ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生させ、これを取出すための1対の電極とを備える表面弾性波素子であって、前記電極の少なくとも一方が前記ダイヤモンド層の表面上に気相成長によりエピタキシャル成長させた銅電極であることを特徴とする、表面弾性波素子。

IPC (2)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-040510
  
• 特開昭64-062911
  
• 特開昭51-110240
  
• 特開昭64-036115