半導体装置の作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006202687
Publication number (International publication number)：2007059893
Application date： Jul. 26, 2006
Publication date： Mar. 08, 2007
Summary：

【課題】半導体装置、表示装置を構成する配線等のパターンを、所望の形状で制御性よく形成できる技術を提供することを目的とする。【解決手段】透光性を有する基板上に非透光性を有するゲート電極層を形成し、ゲート電極層上にゲート絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上に光触媒物質を形成し、光触媒物質をめっき触媒物質を含む溶液中に浸漬し、めっき触媒物質を含む溶液中で、ゲート電極層をマスクとして基板を通過した光で選択的に露光し、露光した光触媒物質にめっき触媒物質を吸着又は析出させ、めっき触媒物質を、金属材料を含むめっき液に浸漬し、めっき触媒物質を吸着又は析出させた光触媒物質表面にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、ソース電極層及びドレイン電極層上に半導体層を形成し、半導体装置を作製する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

透光性を有する基板上に非透光性を有するゲート電極層を形成し、前記ゲート電極層上にゲート絶縁層を形成し、前記ゲート絶縁層上に光触媒物質を形成し、前記光触媒物質をめっき触媒物質を含む溶液中に浸漬し、前記めっき触媒物質を含む溶液中で、前記ゲート電極層をマスクとして前記基板を通過した光で選択的に露光し、前記露光した光触媒物質に前記めっき触媒物質を吸着又は析出させ、前記めっき触媒物質を、金属材料を含むめっき液に浸漬し、前記めっき触媒物質を吸着又は析出した光触媒物質表面にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、前記ソース電極層及び前記ドレイン電極層上に半導体層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。

IPC (7)：

H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/288 , H01L 29/417 , H01L 51/05 , H01L 51/40 , H01L 21/320

FI (7)：

H01L29/78 616N , H01L29/78 616K , H01L21/288 E , H01L29/50 M , H01L29/28 100A , H01L29/28 370 , H01L21/88 B

F-Term (120)：

4M104AA09 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB30 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD21 , 4M104DD51 , 4M104DD53 , 4M104DD78 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH15 , 5F033HH19 , 5F033HH35 , 5F033HH38 , 5F033PP06 , 5F033PP14 , 5F033PP26 , 5F033PP28 , 5F033QQ00 , 5F033QQ01 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ53 , 5F033QQ73 , 5F033QQ82 , 5F033QQ83 , 5F033QQ85 , 5F033QQ99 , 5F033VV15 , 5F110AA16 , 5F110AA28 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC03 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE09 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE23 , 5F110EE42 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF10 , 5F110FF25 , 5F110FF26 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG05 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK32 , 5F110HK41 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN36 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110PP01 , 5F110PP03 , 5F110PP10 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ06 , 5F110QQ11 , 5F110QQ12 , 5F110QQ28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

電気配線の製造方法および配線基板および表示装置および画像検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-058696 Applicant：シャープ株式会社

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