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J-GLOBAL ID：200903057340800947

表面状態検査装置

Inventor： 三浦 聖也 ,  河野 道生
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993143627
Publication number (International publication number)：1995005115
Application date： Jun. 15, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 被検面の状態を正確に検査できる表面状態検査装置を提供する。【構成】 レーザーダイオード(3)からの光をレンズ(4)により平行光(6a)し、当該平行光をλ/2板(5)を介してレチクル(1)の被検面(1a、2a)に斜入射させる照明手段と、被検面上の異物等で生じる散乱光をレンズアレイ7によりセンサーアレイ8上に集光する検出手段とを有し、λ/2板(5)が定める平行光の偏光方向(20)を照明手段の光軸と検出手段の光軸とを含む平面にほぼ平行にしている。この構成により、平行光のレチクルへの入射角度に誤差があっても、散乱光同士の干渉による散乱光の強度変動が小さく抑えられ、異物の大小の判別の間違いを犯しにくくなる。

Claim (excerpt)：

被検面に光を斜入射させる照明手段と前記被検面上の異物等で生じる散乱光を検出する検出手段とを有する表面状態検査装置において、前記照明手段が前記照明手段の光軸と前記検出手段の光軸とを含む平面にほぼ平行な方向に偏光した直線偏光光を前記被検面に入射せしめることを特徴とする表面状態検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-104243
  
• 特開昭56-030630
  
• 特開昭63-153451