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J-GLOBAL ID：200903057341353871
ウエハの乾燥方法及びこの方法におけるウエハ乾燥装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992186988
Publication number (International publication number)：1994037081
Application date： Jul. 14, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：
【要約】【目的】 キャリアの変形等のトラブルのないウェハの遠心力乾燥装置を提供する。【構成】 回転軸8に固定支持された回転台1を内部に擁し、傾斜底と有蓋の筒型本体6から成るウエハ乾燥装置において、ウェハキャリア3を収納する容器がターンテーブル1上に載置され、この容器によりキャリア3の開放部を遠心側に向けて回転台1上に固定される。また、キャリア3の開放部側にはストッパが設けられ、回転台1が回転してウエハに遠心力が加わってもこのストッパによりウエハが係止されて外に飛び出すのを防いでいる。
Claim (excerpt)：
複数枚のウエハが収納されたキャリアをターンテーブルに載置し、このターンテーブルを回転させることにより前記キャリア内のウエハを乾燥させるウエハ乾燥方法において、前記キャリアはウエハの出し入れを行うウエハ収納間口が前記ターンテーブル外側に向けて載置され、前記ウエハの収納間口には前記ターンテーブルが回転した際に前記ウエハがこの収納間口より飛び出さないよう係止する係止部材が配設され、前記ウエハが回転すると、前記キャリア内の各ウエハが前記係止部材に係止されながら回転することを特徴とするウエハの乾燥方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 351
, F26B 5/08
