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J-GLOBAL ID：200903057354837983

被測定体の物理特性を決定する装置及び方法

Inventor： マイケル アラン マーカス ,  スタンレー グロス ,  デビッド カーター ワイドマン
Applicant, Patent owner： イーストマン コダック カンパニー
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996064447
Publication number (International publication number)：1996271219
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【課題】 被測定体の厚さ、群屈折率、表面までの距離等、被測定体の物理特性を高速で測定する。【解決手段】 この装置は、可変光路遅延要素(54)を共有するように組み合わされたノンコヒーレント光学干渉計(53)と、コヒーレント光学干渉計(55)を含んでいる。厚さ測定については、例えば個体又は液体、水平面に沿って移動する液体、平面を流下する液体等の厚みを測定することが出来る。また、多重層の厚さ測定も可能である。

Claim (excerpt)：

コヒーレント光を発する光源を有し、コヒーレント光の干渉信号形成に適応する第1光学干渉計と、ノンコヒーレント光を発する光源を備え、被測定体の物理特性を示すノンコヒーレント光の干渉信号形成に適応し、被測定体の物理特性を決定するのに十分な距離を変位するように設けられた共通可変光路遅延要素を前記第1光学干渉計と共有するように、第1光学干渉計と組み合わされる第2光学干渉計と、前記可変光路遅延要素の変位の関数としてコヒーレント光の干渉信号を測定する手段と、前記コヒーレント光の干渉信号に基づいて、前記可変光路遅延要素の一定変位間隔毎にデータ採取用トリガ信号を発生する手段と、前記ノンコヒーレント光の干渉信号の振幅を測定する手段と、前記データ採取用トリガ信号を利用して、前記ノンコヒーレント光の干渉信号をサンプリングする手段と、サンプリングされたノンコヒーレント光の干渉信号から被測定体の物理特性を決定する手段とを備えた、被測定体の物理特性を決定する装置。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/45

FI (4)：

G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/06 G ,  G01N 21/45 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-225133
  
• 移動体の位置およびその位置測定の時間を測定する方法と装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-320768   Applicant：ジゴーコーポレーション