顕微鏡および三次元情報取得方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊丹勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007219445
Publication number (International publication number)：2009053398
Application date： Aug. 27, 2007
Publication date： Mar. 12, 2009
Summary：

【課題】試料の厚さ方向に沿った運動が不要で高速に試料内部のすべての厚さ方向に合焦した情報を得て試料の体積観察を行うこと。【解決手段】顕微鏡1は、試料が内在する透明基板30と、焦点面31の光を読み取り試料の画像に基づく三次元情報を取得する画像光学系10と、画像光学系10から透明基板30に向けて照射される光を焦点面31に結像する対物レンズ21と、透明基板30の上面32上の画像光学系10側に配置される楔形補正板40とを備える。画像光学系10は、光軸10aおよび焦点面31が透明基板30の上面32に対してそれぞれ所定の傾斜を持って配置される。楔形補正板40は、画像光学系10からの光の入射面41が焦点面31と平行となるとともに、透明基板30への光の出射面42が透明基板30の上面32と平行となる楔形の形状で形成され、透明基板30と同等の屈折率nを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料に照射光を照射してその焦点面の光により光透過性の試料を観察する顕微鏡であって、透明基板に支持された前記試料に対して、前記照射光をその光軸が前記透明基板に対して所定の傾斜を持つように照射して、前記焦点面の光を読み取って前記試料の三次元情報を取得する画像光学系と、前記透明基板の屈折率と同等の屈折率を有し、前記透明基板に支持された前記試料に対して、前記画像光学系からの前記照射光の光軸に対して直交する前記焦点面が形成されるように楔形に設けられた楔形補正領域とを備えたことを特徴とする顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/26 , G02B 21/00 , G01B 11/24

FI (3)：

G02B21/26 , G02B21/00 , G01B11/24 K

F-Term (26)：

2F065AA53 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL30 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL47 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065UU05 , 2F065UU07 , 2H052AB14 , 2H052AC09 , 2H052AC27 , 2H052AD03 , 2H052AD06 , 2H052AD13 , 2H052AD16 , 2H052AD22 , 2H052AF03 , 2H052AF14 , 2H052AF25

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

光透過物質の三次元情報の検出方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-267227 Applicant：工業技術院長

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