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J-GLOBAL ID：200903057379809020

精密エッチング加工用金属材料及びその製造方法

Inventor： 菅原 保孝 ,  喜多 芳久
Applicant, Patent owner： 日鉱金属株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995095835
Publication number (International publication number)：1996269740
Application date： Mar. 30, 1995
Publication date： Oct. 15, 1996
Summary：

【要約】【目的】 エッチファクターの高い金属材料及びそれを安定して製造する技術の開発。【構成】 入射角及び反射角共に30°の場合の表面の鏡面反射率(JIS Z8741で規定)ρv(30°)=15%以下及び/或いは表面粗さRmax(JIS B 0601で規定)=1.5μm以上の、安定した凹凸を有する表面を備えることを特徴とする、エッチファクターの高い精密エッチング加工用金属材料。レジスト密着性が向上し、サイドエッチング量が減る。リードフレーム用材料及びシャドウマスク用材料として特に有用である。エッチング加工用金属材料を塩化第2鉄水溶液で酸洗することにより製造できる。

Claim (excerpt)：

入射角及び反射角共に30°の場合の表面の鏡面反射率(JIS Z 8741で規定)ρv(30°)=15%以下及び/或いは表面粗さRmax(JIS B 0601で規定)=1.5μm以上の、安定した凹凸を有する表面を備えることを特徴とする、エッチファクターの高い精密エッチング加工用金属材料。

FI (2)：

C23F 1/00 A ,  C23F 1/00 C