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J-GLOBAL ID：200903057407332587

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 幸生 ,  石井 寛之 ,  山本 將史 ,  梶田 徹
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001303791
Publication number (International publication number)：2002182393
Application date： Sep. 28, 2001
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等に優れ、露光後の加熱時の温度依存性が小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)(メタ)アクリル酸5-t-ブトキシカルボニルノルボルニル、(メタ)アクリル酸8-t-ブトキシカルボニルテトラシクロドデカン等で代表される酸解離性基含有脂環族構造を有する(メタ)アクリル酸エステル類と、下記式(1)の化合物等で代表されるラクトン基含有複素環構造を有する(メタ)アクリル酸エステル類との共重合体からなる樹脂、および(B)1-(3,5-ジメチル-4-ヒドロキシフェニル)テトラヒドロチオフェニウムパーフルオロ-n-オクタンスルホネート、1-(4-n-ブトキシ-1-ナフチル)テトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ-n-ブタンスルホネート等で代表される感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)で表される繰返し単位および下記一般式(2)で表される繰返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)下記一般式(3)で表される感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は下記式【化2】(式中、各R5 は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示すか、あるいは何れか2つのR5 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成し、残りのR5 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体である。)で表される基を示し、nは0〜2の整数であり、繰返し単位の主鎖炭素原子に結合しているカルボニルオキシ基は、最上位のビシクロ[ 2.2.1 ]ヘプタン環の2-位または3-位に結合している。〕〔一般式(2)において、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は水素原子または炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。〕【化3】〔一般式(3)において、R6 は炭素数6〜12の1価の芳香族炭化水素基もしくはその誘導体を示し、kは1〜8の整数であり、mは0〜5の整数である。〕

IPC (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (23)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA15P ,  4J100BC08P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100FA03 ,  4J100JA38