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J-GLOBAL ID：200903057429937083
ワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993044517
Publication number (International publication number)：1994236904
Application date： Feb. 08, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ワークを支持するXYθテーブル型ステージと、XYZテーブル上に装着されたCCDカメラとを備えたワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正に関し、自動補正更新化を図る。【構成】 ワークを支持するXYθテーブル型ボンデイングステージ1のワーク受け5に基準指標10を設け、かかるボンデイングステージ1若しくはCCDカメラ6が装着されているXYZテーブル11を所定に駆動してCCDカメラ6で基準指標10の変位たる複数点をサーチすることにより得られる所定のパラメータで補正更新する。
Claim (excerpt)：
ワークを支持するXYθテーブル型ステージと、XYZテーブル上に装着されたCCDカメラとを備えたワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法において、前記XYθテーブル型ステージに基準指標を設け、前記XYθテーブル型ステージ若しくは前記XYZテーブルを所定に駆動して前記CCDカメラで前記基準指標の変位をサーチすることにより得られる所定のパラメータで補正更新することを特徴とするワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法。
IPC (2)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
Cited by examiner (8)
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