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J-GLOBAL ID：200903057436459790

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： 遠藤 昌樹 ,  梶原 卓哉
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996302872
Publication number (International publication number)：1998142789
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 良好なレジスト形状と低スカムを保持しつつ、テント信頼性及び解像度が優れる感光性樹脂組成物並びに感光性エレメントを提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基を有するバインダーポリマ、(B)光重合性開始剤並びに(C)(c1)一般式(I)【化1】で表されるビニルウレタン化合物及び(c2)一般式(II)【化2】で表されるアクリレート化合物を含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物の層を、支持体上に積層してなる感光性エレメント。

Claim (excerpt)：

(A)カルボキシル基を有するバインダーポリマ、(B)光重合性開始剤並びに(C)(c1)一般式(I)【化1】(式中、2つのR1は、各々独立に、水素原子又はアルキル基を示し、2つのXは、各々独立に、【化2】を示し、Yは2価の炭化水素基を示し、k、m、p及びqは、各々独立に、1〜14の整数である)で表されるビニルウレタン化合物及び(c2)一般式(II)【化3】(式中、R1及びXは、一般式(I)におけるR1及びXと同意義であり、n及びrは、各々独立に、1〜30の整数である)で表されるアクリレート化合物を含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/027 513 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (7)：

G03F 7/027 513 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D