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J-GLOBAL ID：200903057450198525
SAWフィルタ及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996342164
Publication number (International publication number)：1998190389
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 IDTの電極間でのショートをなくし、信頼性の高いSAWフィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 LiTaO3 などの強誘電体基板11上にボンディングパッドを構成するパターンなどをフォトリソ工程を実施し、蒸着やスパッタで形成されたAu膜12をパターン化する。次に、導通を確保するためにAu膜12に少なくともボンディングパッドの一部が重なるようにフォトリソ工程を実施し、蒸着やスパッタで膜付けされたAl膜13をパターン化する。
Claim (excerpt)：
(a)強誘電体基板上に形成されるボンディングパッドと、(b)該ボンディングパッドに接続されるように形成されるIDTとを具備することを特徴とするSAWフィルタ。
IPC (2)：
FI (3)：
H03H 3/08
, H03H 9/145 D
, H03H 9/145 C
