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J-GLOBAL ID：200903057460425007

堆積膜形成方法および堆積膜形成装置

Inventor： 岡村 竜次
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995054182
Publication number (International publication number)：1996253865
Application date： Mar. 14, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【構成】 1本の円筒状基体を囲む電極は全てその円筒状基体から等距離となるように、複数の円筒状基体と複数の電極を反応容器内に配置して、減圧下に原料ガスの入った反応容器内で前記複数の電極に高周波電力を印加して前記原料ガスを分解し、前記円筒状基体に堆積膜を形成する。【効果】 電子写真感光体などに用いる特性の優れた堆積膜を、均一特性で大量に生産することが可能となるとともに、同一ロット内の特性のばらつきを低減できて、歩留り、コストの面で有利となる。

Claim (excerpt)：

減圧可能な反応容器に原料ガス導入手段と複数の円筒状基体と高周波電力を印加する複数の電極を設置し、減圧下に原料ガスの入った反応容器内で前記複数の電極に高周波電力を印加して前記原料ガスを分解し、前記円筒状基体に堆積膜を形成する堆積膜形成方法において、1本の円筒状基体を囲む電極は全て該円筒状基体から等距離に配置して堆積を行うことを特徴とする堆積膜形成方法。

IPC (5)：

C23C 16/50 ,  G03G 5/08 360 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04 ,  H01L 31/0248

FI (5)：

C23C 16/50 ,  G03G 5/08 360 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04 V ,  H01L 31/08 G