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J-GLOBAL ID：200903057485709573
ファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993043921
Publication number (International publication number)：1994258611
Application date： Mar. 04, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 エタロン空洞を極めて精密な厚みで製造するとともにこの厚みの調整が容易なファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 一方の表面に反射面を有するガラス基板上のこの反射面上にポリイミド樹脂をスピンコートし、その乾燥硬化後、このポリイミド樹脂の不要部分を除去して所要のエタロン空洞を含むパターンを形成させ、その後に上記ガラス基板に対向する側のガラス基板の反射面を上記ポリイミド樹脂に圧着することによってエタロン空洞を形成するようにした。
Claim (excerpt)：
一対の光反射面間に形成されたエタロン空洞に光学的に非直線性の材料を充填したファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法において、一方の表面に反射面を有するガラス基板上のこの反射面上にポリイミド樹脂をスピンコートし、その乾燥硬化後、このポリイミド樹脂の不要部分を除去して所要のエタロン空洞を含むパターンを形成させ、その後に上記ガラス基板に対向する側のガラス基板の反射面を上記ポリイミド樹脂に圧着することによってエタロン空洞を形成するようにしたことを特徴とするファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法。
IPC (3)：
G02F 1/13 505
, G01J 3/26
, G02B 5/28
