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J-GLOBAL ID：200903057511828837

電子放出用冷陰極の製造方法

Inventor： 段谷 恭史 ,  梅田 和夫
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993018079
Publication number (International publication number)：1994203748
Application date： Jan. 08, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電子放出に適した表面構造をもつ電子放出用冷陰極を容易に作成する方法を提供する。【構成】 冷陰極9をカソード、陽極7をアノード、引出電極5をグリッド、として、真空管と同様の動作を行う真空マイクロ素子を製造する。円柱状の冷陰極9を、金属の斜方蒸着によって形成する。斜方蒸着によると、冷陰極9の上面に微細な柱状突起が多数形成され、この柱状突起から電子が放出される。

Claim (excerpt)：

冷陰極と引出電極と陽極とを備え、引出電極によって冷陰極から電子を引き出してこれを陽極へと放出させる装置、に用いられる冷陰極の製造方法において、冷陰極を形成すべき基板を、チャンバ内において水平面に対して所定の角度傾斜させた状態で固定し、この基板の主面に対する法線上から外れた位置に蒸着材料を置き、この蒸着材料を前記基板上に斜方蒸着させることにより、前記冷陰極の電子放出面を形成することを特徴とする電子放出用冷陰極の製造方法。