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J-GLOBAL ID:200903057520368644

光検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 岡田 賢治 ,  今下 勝博
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006322861
Publication number (International publication number):2008140808
Application date: Nov. 30, 2006
Publication date: Jun. 19, 2008
Summary:
【課題】本願発明では、Si集積回路の作製プロセスとの整合がよく、1μm以上の波長でも感度を有し、高速で動作する光検出器を提供することを目的とする。【解決手段】本願発明は、光吸収層をGeとし、真性半導体層をSiで構成するPIN構造の光検出器とした。具体的には、極性のあるSi半導体層11と、真性Si半導体層12と、前記Si半導体層11と逆極性のGe半導体層13と、が順に積層されている光検出器1である。 【選択図】図1
Claim (excerpt):
極性のあるSi半導体層と、 真性Si半導体層と、 前記Si半導体層と逆極性のGe半導体層と、 が順に積層されている光検出器。
IPC (1):
H01L 31/10
FI (1):
H01L31/10 A
F-Term (12):
5F049MA04 ,  5F049MB03 ,  5F049NA03 ,  5F049NA10 ,  5F049NB01 ,  5F049NB07 ,  5F049PA03 ,  5F049PA11 ,  5F049QA08 ,  5F049RA06 ,  5F049SS03 ,  5F049WA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)

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