Pat
J-GLOBAL ID:200903057520368644
光検出器
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
岡田 賢治
, 今下 勝博
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006322861
Publication number (International publication number):2008140808
Application date: Nov. 30, 2006
Publication date: Jun. 19, 2008
Summary:
【課題】本願発明では、Si集積回路の作製プロセスとの整合がよく、1μm以上の波長でも感度を有し、高速で動作する光検出器を提供することを目的とする。【解決手段】本願発明は、光吸収層をGeとし、真性半導体層をSiで構成するPIN構造の光検出器とした。具体的には、極性のあるSi半導体層11と、真性Si半導体層12と、前記Si半導体層11と逆極性のGe半導体層13と、が順に積層されている光検出器1である。 【選択図】図1
Claim (excerpt):
極性のあるSi半導体層と、
真性Si半導体層と、
前記Si半導体層と逆極性のGe半導体層と、
が順に積層されている光検出器。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (12):
5F049MA04
, 5F049MB03
, 5F049NA03
, 5F049NA10
, 5F049NB01
, 5F049NB07
, 5F049PA03
, 5F049PA11
, 5F049QA08
, 5F049RA06
, 5F049SS03
, 5F049WA01
Patent cited by the Patent:
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