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J-GLOBAL ID：200903057529533605

むら検査方法および装置

Inventor： 渡部 典生 ,  市野 学 ,  矢口 博之
Applicant, Patent owner： 日立東部セミコンダクタ株式会社 ,  学校法人東京電機大学
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997227550
Publication number (International publication number)：1999066311
Application date： Aug. 08, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 むら欠陥を自動的に検査する。【解決手段】 むら検査装置10のコンピュータ12は、LCD1の被検査面2である表示画面を撮像した撮像装置11からの画像信号をA/D変換するA/D変換モジュール13と、画像圧縮モジュール14と、各画素の輝度値で構成された曲線をスプライン関数で平坦化する平坦化モジュール15と、平坦化された曲線のノイズを除去するノイズ除去モジュール16と、ノイズ除去された曲線のむら欠陥部分を強調する強調化モジュール17と、強調化された曲線に閾値を設定しむら欠陥を判定する欠陥判定モジュール18とを備えている。【効果】 LCDのむら検査を自動化して人間の目視検査を省略することで、検査精度やLCDの製造歩留りを向上できる。一度の演算処理であらゆる大きさのむら欠陥を検出できるため、検査時間を短縮できる。

Claim (excerpt)：

被検査面の画像を取り込む画像取込み工程と、前記取込み画像の輝度値によって構成されたデータ列をスプライン関数によって平坦化する平坦化工程と、前記平坦化されたデータ列のむら欠陥の部分を強調する強調化工程と、前記強調化されたデータ列に閾値が設定されむら欠陥が判定される欠陥判定工程と、を備えていることを特徴とするむら検査方法。

IPC (4)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G09G 3/36 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G06F 15/62 400 ,  G01N 21/88 Z ,  G09G 3/36 ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 J