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J-GLOBAL ID：200903057549230285

電気回路測定装置

Inventor： 山口 憲栄 ,  安斉 正行 ,  土生 理
Applicant, Patent owner： 株式会社日本マイクロニクス ,  横河・ヒューレット・パッカード株式会社
Agent (1)： 鈴木 利之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993177572
Publication number (International publication number)：1995084003
Application date： Jun. 25, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プローブ針支持台に導電性のガード板を設けて、その貫通孔からプローブ針を挿入するようにして、被検体の下方空間に加えて被検体の上方空間についても理想的な電磁遮蔽状態にする。【構成】 ウエハーチャック28は、上から順に、導電性のチャックトップ52と、第1の絶縁部材54と、導電性の第1のガード板56と、第2の絶縁部材58と、導電性のチャックベース60とからなり、チャックトップ52上にウエハー62が支持される。チャックトップ52の上方は、プローブ針支持台に固定された導電性の第2のガード板46で覆われており、その貫通孔66を通してプローブ針38がウエハー62上の電気回路に接触できる。チャックトップ52と第1のガード板56と第2のガード板46はほぼ同じ電位にコントロールされ、微小電流の測定の際にも、漏れ電流が生じることがなく、また、外部からのノイズの影響を受けることもない。

Claim (excerpt)：

被測定回路を備えた被検体を支持する被検体支持台と、プローブ針を支持するプローブ針支持台と、被検体支持台をプローブ針支持台に対して相対的に移動可能にする移動機構とを備える電気回路測定装置において、前記被検体支持台に、被検体を直接支持する導電性の支持板と、導電性の第1のガード板と、導電性のベース台と、支持板と第1のガード板の間に配置された第1の絶縁部材と、第1のガード板とベース台の間に配置された第2の絶縁部材とを設け、前記プローブ針支持台には導電性の第2のガード板を絶縁材を介して取り付けて、この第2のガード板が被検体の上方を覆うようにするとともに、第2のガード板にプローブ針を挿入するための貫通孔を形成して被検体にプローブ針で電気的接続ができるようにし、前記第1のガード板と前記第2のガード板の電位を被測定回路の電位に等しくできることを特徴とする電気回路測定装置。

IPC (3)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-220453
  
• 特開平1-209380
  
• 特開昭48-060663