積層構造を有するマイクロデバイス及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001184867
Publication number (International publication number)：2002086399
Application date： Jun. 19, 2001
Publication date： Mar. 26, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】毛細管状の空洞を有するマイクロデバイスの製造方法、特に立体的に形成された複雑な流路を有するマイクロデバイスの製造方法を提供する。即ち、複数の樹脂層が積層され、毛細管状の空洞が各層を貫通して互いに連絡し、流路、反応槽、ダイヤフラム式バルブ、及び弁構造など多機能なマイクロデバイスを提供する。【解決手段】支持体上にエネルギー線硬化性組成物から成る、欠損部を有する塗膜を形成し、該塗膜を他の部材に積層し支持体を除去し、活性エネルギー線を再照射して該塗膜を硬化させ他の部材に接着することによる、内部に空洞が形成されたマイクロデバイスの製造方法、及び部材を貫通又は表面に凹状の欠損部を有する部材に前記欠損部を有する硬化樹脂塗膜の層を1つ以上積層し、部材中の少なくとも2つ以上の欠損部が連結して空洞を形成する積層構造を有するマイクロデバイスの製法。

Claim (excerpt)：

下記の工程を含む、欠損部を有する樹脂層(X)を1層以上有し、該樹脂層が他の部材又は他の樹脂層(X)と積層されて、欠損部が空洞を形成している、積層構造を有するマイクロデバイスの製造方法。(i)塗工支持体に、活性エネルギー線重合性化合物(a)を含有する活性エネルギー線硬化性組成物(x)を塗工する、未硬化塗膜を形成する工程(i)、(ii)欠損部と成すべき部分以外の未硬化塗膜に活性エネルギー線を照射し照射部の未硬化塗膜を非流動性又は難流動性となし、且つ未反応の活性エネルギー線重合性官能基が残存する程度に半硬化させる、半硬化塗膜を形成する工程(ii)、(iii)半硬化塗膜から非照射部分の未硬化の組成物(x)を除去し、塗膜の欠損部を有する半硬化塗膜を得る工程(iii)、(iv)欠損部を有する半硬化塗膜を他の部材(J)に積層させ樹脂層(X)と成す工程(iv)、(v)塗工支持体を樹脂層(X)から除去することにより、樹脂層(X)を部材(J)に転写する工程(v)、及び、(vi)工程(iv)の後であって工程(v)の前、又は工程(v)の後、又は工程(v)の前後に、半硬化状態の樹脂層(X)に活性エネルギー線を照射して樹脂層(X)を更に硬化させ、樹脂層(X)を部材(J)に接着させる工程(vi)。

IPC (5)：

B81B 3/00 , B32B 3/30 , B81C 1/00 , G01N 37/00 101 , G01N 27/447

FI (5)：

B81B 3/00 , B32B 3/30 , B81C 1/00 , G01N 37/00 101 , G01N 27/26 331 E

F-Term (76)：

4F100AK01B , 4F100AK01C , 4F100AK01D , 4F100AK02B , 4F100AK02C , 4F100AK02D , 4F100AK12A , 4F100AK12E , 4F100AK25A , 4F100AK25B , 4F100AK25C , 4F100AK25D , 4F100AK25E , 4F100AK41A , 4F100AK41E , 4F100AK45A , 4F100AK45E , 4F100AK54B , 4F100AK54C , 4F100AK54D , 4F100AK55A , 4F100AK55E , 4F100AL01B , 4F100AL01C , 4F100AL01D , 4F100AL05B , 4F100AL05C , 4F100AL05D , 4F100AT00A , 4F100AT00E , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10E , 4F100BA32A , 4F100BA32B , 4F100BA32C , 4F100BA32D , 4F100BA44B , 4F100BA44C , 4F100BA44D , 4F100DC12B , 4F100DC12C , 4F100DC12D , 4F100DD01A , 4F100DD01E , 4F100DD21 , 4F100DD27 , 4F100DD28 , 4F100EC042 , 4F100EG001 , 4F100EH032 , 4F100EH461 , 4F100EJ081 , 4F100EJ082 , 4F100EJ301 , 4F100EJ303 , 4F100EJ33A , 4F100EJ33E , 4F100EJ333 , 4F100EJ541 , 4F100EJ542 , 4F100EJ581 , 4F100GB51 , 4F100GB90 , 4F100JB06B , 4F100JB06C , 4F100JB06D , 4F100JB14B , 4F100JB14C , 4F100JB14D , 4F100JK02 , 4F100JK07 , 4F100JM02B , 4F100JM02C , 4F100JM02D

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