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J-GLOBAL ID：200903057599099120

多重量子障壁構造を有する光素子

Inventor： 入川 理徳 ,  岩瀬 正幸 ,  佐々木 義高 ,  柏 享 ,  伊賀 健一
Applicant, Patent owner： 古河電気工業株式会社 ,  伊賀 健一
Agent (1)： 鈴木 雄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993079019
Publication number (International publication number)：1994268329
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 長波帯光素子のキャリアオーバーフローを低減させることができる多重量子障壁構造を有する光素子を提供する。【構成】 一組のクラッド層と、該一組のクラッド層の間にある、GaInAs(P)もしくはAlGaInAs層を含む活性層を有する光素子であって、前記活性層と前記各クラッド層の間もしくは各クラッド層内の少なくとも一か所に多重量子障壁構造が設けられ、該多重量子障壁構造は、井戸層厚さLW と障壁層厚さLB の関係が、所定の関係を満たす第1の超格子構造体と、第1の超格子構造体とは材料、組成、もしくは膜厚の少なくとも一つ以上が異なる第2の超格子構造体を含むようにするか、または、井戸層と障壁層に所定の歪みをもたせ、一種類の超格子構造体だけで構成されるようにする。

Claim (excerpt)：

一組のクラッド層と、該一組のクラッド層の間にあってGaInAs(P)もしくはAlGaInAs層を含む活性層を有し、前記活性層と前記各クラッド層の間もしくは各クラッド層内の少なくとも一か所に多重量子障壁構造が設けられた多重量子障壁構造を有する光素子において、該多重量子障壁構造は、井戸層が無歪みであるか、もしくは2%以下の面内圧縮歪みを有し、障壁層が無歪みであるか、もしくは2%以下の面内引張り歪みを有し、該井戸層と障壁層の材料、組成、膜厚の少なくとも一つ以上が異なる複数の超格子構造体を含み、該複数の超格子構造体の第1の超格子構造体は、その井戸層厚さLW と障壁層厚さLB が、層厚の単位を1原子層(ML)として、LB ≧-2LW +22 (ただし、LW 、LB ≧4)を満たす範囲にあり、第2の超格子構造体は、LB ≦-LW +14 (-4≦LW ≦6のとき) またはLB ≦-2LW +20 (6≦LW ≦8のとき)を満たす範囲にあることを特徴とする多重量子障壁構造を有する光素子。