角速度センサ及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：山下穣平 , 永井道雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007214796
Publication number (International publication number)：2009047591
Application date： Aug. 21, 2007
Publication date： Mar. 05, 2009
Summary：

【課題】小型化が可能で、可動部分がないため高い歩留まりで製造できる、高信頼性及び低故障率の角速度センサとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】流体が循環するための閉流路102が基板に101形成され、流体を循環させる駆動部104が閉流路102に設けられる角速度センサにおいて、流体を加熱する熱源104と、流体の温度を検知する温度検知手段105と、を備えることを特徴とする。また、温度検知手段105は、少なくとも二つ備わっている。また、温度検知手段105は、閉流路102の対称の位置に配置される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

流体が循環するための閉流路が基板に形成され、前記流体を循環させる駆動部が前記閉流路に設けられる角速度センサにおいて、前記流体を加熱する熱源又は前記流体を冷却する冷却源と、前記流体の温度を検知する温度検知手段と、を備えることを特徴とする角速度センサ。

IPC (4)：

G01C 19/14 , G01P 9/00 , G01P 5/10 , H01L 29/84

FI (4)：

G01C19/14 , G01P9/00 Z , G01P5/10 Z , H01L29/84 Z

F-Term (4)：

4M112AA02 , 4M112BA10 , 4M112CA41 , 4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-341767 Applicant：シャープ株式会社
角速度検出方法及びそれを用いた角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-222351 Applicant：沖電気工業株式会社
特許第2599319号公報

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