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J-GLOBAL ID：200903057631524092

荷電粒子光学装置

Inventor： 松谷 幸
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004030979
Publication number (International publication number)：2004265864
Application date： Feb. 06, 2004
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：

【課題】 最適な収差補正を実現し、最小プローブ径を得る。【解決手段】 荷電粒子ビームをフォーカスさせて試料面20に照射するものであって、荷電粒子ビームの光軸LOに沿って配置された4段の多極子1,2,3,4と、4段の多極子1,2,3,4のうち少なくとも3個以上の多極子には標準8極子の電位または磁位を独立に与え、少なくとも2個以上の多極子には斜め8極子の電位または磁位を独立に与える、5個以上の独立な8極子電位または磁位を供給できる電源11,12,13,14,21,22,23,24と、前記独立な5個以上の8極子電位または磁位を互いに独立に調整することにより、3次開口収差を補正する制御部19と、を有する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームをフォーカスさせて試料に照射する荷電粒子光学装置において、 (1)荷電粒子ビームの光軸に沿って配置された4段の多極子と、 (2)前記4段の多極子のうち少なくとも3個の多極子には標準8極子の電位または磁位を独立に与え、少なくとも2個の多極子には斜め8極子の電位または磁位を独立に与える、5個以上の独立な8極子電位または磁位を供給できる独立可変電源と、 (3)前記4段の多極子のうち少なくとも1個の多極子には一定の値または前記独立可変電源のうちの何れかの値に従属させた値の標準または斜め8極子の電位または磁位を与える、1個以上の8極子電位または磁位を供給できる非独立可変電源と、 (4)前記5個以上の独立可変電源の8極子電位または磁位を互いに独立に調整することにより、3次開口収差を補正する制御手段と、 を有することを特徴とする荷電粒子光学装置。

IPC (4)：

H01J37/153 ,  G21K1/08 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04

FI (4)：

H01J37/153 B ,  G21K1/08 ,  G21K5/00 A ,  G21K5/04 M

F-Term (5)：

5C033HH03 ,  5C033HH05 ,  5C033HH06 ,  5C033JJ01 ,  5C033JJ07