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J-GLOBAL ID：200903057638099095

位置決め装置

Inventor： 大隅 雄三郎
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993161281
Publication number (International publication number)：1995009295
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 13, 1995
Summary：

【要約】【構成】テーブルを一体的に形成したピストン1をシリンダ2内で保持し、上記ピストン1で隔壁されるシリンダ2内の2つの加圧室3、4にそれぞれ圧力調整弁6、7を備えて成り、上記ピストン1とシリンダ2の隙間5に気体を噴出してピストン1を静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室3、4に導入し、両加圧室3、4の圧力差によってピストン1およびテーブルを駆動するようにして位置決め装置を構成する。【効果】シリンダサーボ型の機構を持つため軸方向剛性を高くでき、かつピストン1をシリンダ2内で静圧支持するため動作抵抗や動作反力が極めて小さく、しかも摺動や屈曲部分が無いため計時変化が無く、長寿命で安定な繰返し位置決めが可能となる。また、ピストン1とテーブルを一体的に形成したため小型で簡単な構造とできるなど、多くの特徴を持った位置決め装置を提供することができる。

Claim (excerpt)：

テーブルを一体的に形成したピストンをシリンダ内で保持し、上記ピストンで隔壁されるシリンダ内の2つの加圧室にそれぞれ圧力調整弁を備え、上記ピストンとシリンダの隙間に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室の圧力差によってピストンおよびテーブルを駆動するようにしたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (2)：

B23Q 5/26 ,  G05D 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-026403
  
• 特開昭46-001964