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J-GLOBAL ID：200903057639422400
半導体試験装置の測定信号のタイミング校正方法及びその回路
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994220971
Publication number (International publication number)：1996062308
Application date： Aug. 22, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 半導体試験装置において、測定信号を印加する各経路間の位相遅延時間の差異を格段に縮小し、被測定対象デバイスの特性の適正な測定が可能な、測定信号のタイミング校正方法及びその回路構成を提供する。【構成】タイミング発生回路8からドライバ5、測定点C点2、マルチプレクサ16を経由し周波数測定器10に至る、ドライバ出力点B点4〜測定点C点2を含んだ帰還ループ121,122を構成し、ループ法により測定して得た「基準測定値」と同一値になるように全経路の位相遅延時間を調整し、同時に測定して得た校正用経路、A点9→B点4→D点15→F点11の位相遅延時間を各経路の「校正値」とし、以降各経路での経路条件の変更や周囲温度条件の変化が起こり校正作業の必要が生じた時には、当該各校正用経路の位相遅延時間を、既に取得してある当該各「校正値」に合致させることで校正を行う。
Claim (excerpt)：
可変遅延回路1(61)を任意の値に設定し、先ず、ドライバ1(51)から測定信号(31)を被測定対象デバイス(1)に印加する経路で、A点(9)→ドライバ出力B1(41)→測定点C1(21)→D点(15)→F点(11)での位相遅延時間を、F点(11)の周波数測定器(10)を用いてループ法によって測定し、この測定値を基準測定値として記録し、また、ドライバ1(51)の校正用の経路である、A点(9)→ドライバ出力B1(41)→D点(15)→F点(11)での位相遅延時間を同じくF点(11)の周波数測定器(10)を用いて測定し、この測定値をドライバ1(51)の校正値として記録し、次に、ドライバ2(52)から測定信号(32)を被測定対象デバイス(1)に印加する経路である、A点(9)→ドライバ出力B2(42)→測定点C2(22)→D点(15)→F点(11)での遅延時間をF点(11)の周波数測定器(10)を用いてループ法により測定し、そのときの測定値が、上記ドライバ1(51)で測定し記録しておいた基準測定値と、同一値となるように、可変遅延回路2(62)を用いて調整し、また、ドライバ2(52)の校正用の経路である、A点(9)→ドライバ出力B2(42)→D点(15)→F点(11)で位相遅延時間を同じくF点での周波数測定器(10)を用いて測定し、この測定値をドライバ2(52)の校正値として記録し、次に、ドライバn(53)までの、測定信号(33)を被測定対象デバイス(1)に印加する経路であるA点(9)→ドライバ出力Bn(43)→測定点Cn(23)→D点(15)→F点(11)に対して、ドライバ2(52)で行ったと同様の動作を繰り返して行い、上記基準測定値と同一値となるように可変遅延回路n(63)を用いて調整し、また、ドライバn(53)までの校正用の経路であるA点(9)→ドライバ出力Bn(43)→D点(15)→F点(11)の位相遅延時間をF点(11)での周波数測定器(10)を用いて測定し、この測定値をドライバn(53)までの校正値として取得して記録し、そして、被測定対象デバイス(1)へ印加する測定信号(3)の経路が、波形成型器1(71)及び波形成型器2(72)〜波形成型器n(73)のいずれかの中の経路1(711)〜経路m(712)に変更されたとき、または周囲の温度変化が規定の範囲を超え遅延誤差等が発生したときには、ドライバ1(51)の校正用の経路である、A点(9)→ドライバ出力B1(41)→D点(15)→F点(11)の周波数測定器(10)で測定し、先に既に測定して取得し記録してあった当該ドライバ1(51)の校正値と同一の値となるように可変遅延回路1(61)を用いて調整して校正し、この調整動作をドライバ2(52)からドライバn(53)まで繰り返して校正を行う、ことを特徴とする、半導体試験装置の測定信号のタイミング校正方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01R 31/28 R
, G01R 31/28 M
