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J-GLOBAL ID:200903057675272082
洗浄装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 隆久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993272683
Publication number (International publication number):1995130009
Application date: Oct. 29, 1993
Publication date: May. 19, 1995
Summary:
【要約】【目的】 光ディスクのガラス原盤の洗浄効果を高めることができる洗浄装置を提供する。【構成】 回転している光ディスクのガラス原盤を、その放射方向から軸中心に回転して洗浄する。弾性の洗浄装置21をガラス原盤に接触させながら回転させる。このとき、ガラス原盤との密着度はに凹部27は凸部25に比べて低くガラス原盤から生じた不純物を含む水が凹部27を通って流出される。その結果、常に高純度の純水を用いてガラス原盤の洗浄が可能となる。また、芯棒16は、回転部からの回転を伝達する取付部に着脱自在に取り付け可能であり、洗浄装置21の交換および洗浄を容易に行える。
Claim (excerpt):
回転する光ディスクのガラス原盤の放射方向に設けられ、その軸を中心に回転して前記ガラス原盤を洗浄する円柱形の洗浄装置であって、前記円柱形の表面に複数の凸部または凹部を有し、少なくとも前記ガラス原盤に接する部分が弾性部材で構成されている洗浄装置。
IPC (3):
G11B 7/26 501
, B08B 11/04
, B05C 9/10
Patent cited by the Patent:
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