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J-GLOBAL ID：200903057677591827

微細形状の形成方法

Inventor： 松原 亨
Applicant, Patent owner： マコー株式会社
Agent (1)： 吉井 剛 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998152867
Publication number (International publication number)：1999347942
Application date： Jun. 02, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 微細形状の形成にウエットブラスト法を採用することにより、砥粒が飛散しにくくて噴射材の回収が容易であり、また、寸法安定性良く微細形状を形成することができ、製品の不良率を低下させることもできる実用性に秀れた微細形状の形成方法を提供するものである。【解決手段】 微細な所定形状1が貫通状態に形成されたマスク2を被加工体3の被加工面4に設け、該マスク2上に噴射材5を噴射して該被加工面4を切削することにより微細な所定形状を該被加工面4に形成する微細形状の形成方法であって、噴射材5は液体に砥粒が混入されたものであり、該噴射材5をエアーで噴射するものである。

Claim (excerpt)：

微細な所定形状が貫通状態に形成されたマスクを被加工体の被加工面に設け、該マスク上に噴射材を噴射して該被加工面を切削することにより微細な所定形状を該被加工面に形成する微細形状の形成方法であって、噴射材は液体に砥粒が混入されたものであり、該噴射材をエアーで噴射することを特徴とする微細形状の形成方法。

IPC (2)：

B24C 1/04 ,  B24C 5/02

FI (3)：

B24C 1/04 B ,  B24C 1/04 F ,  B24C 5/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ウェットブラストエッチング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-109168   Applicant：マコー株式会社
• 噴射加工方法及びこれに用いる噴射ガン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-332711   Applicant：株式会社不二精機製造所
• プラズマ・ディスプレー・パネル用多孔性セラミック薄板の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-284292   Applicant：日揮株式会社
• 特開平4-343671