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J-GLOBAL ID:200903057700078040

SF6ガス分離回収装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木内 光春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000095900
Publication number (International publication number):2001283692
Application date: Mar. 30, 2000
Publication date: Oct. 12, 2001
Summary:
【要約】【課題】 広範囲のSF6ガス含有濃度をカバーでき、しかもSF6ガス含有濃度の変動を抑えつつ、効率良くSF6ガスを回収可能なSF6ガス分離回収装置を提供する。【解決手段】 3系統の分離装置S1,S2,S3が設けられている。各分離装置S1,S2,S3には自然ガスを吸着する吸着筒41,42,43が接続されている。吸着筒41,42,43にはガスバルブ31a,32a,33aを介してバッファタンク51,52,53がそれぞれ接続されている。また、液化装置であるコンプレッサ2および熱交換器6は分離装置S1に接続され、放気装置14は分離装置S3に接続されている。
Claim (excerpt):
自然ガスとSF6ガスとの混合ガスをSF6ガスと自然ガスとに分離する分離装置と、前記SF6ガスを液化する液化装置と、液化されたSF6を保管するSF6タンクと、前記自然ガスを大気に放出する放気装置とが設けられたSF6ガス分離回収装置において、前記分離装置は複数系統設けられ、各分離装置にはSF6ガスを吸着しにくく自然ガスを吸着する吸着筒が接続され、前記液化装置と、前記放気装置とは、別系統の前記分離装置に接続されたことを特徴とするSF6ガス分離回収装置。
IPC (3):
H01H 33/56 ,  B01D 53/04 ,  H02B 13/055
FI (3):
H01H 33/56 C ,  B01D 53/04 E ,  H02B 13/06 M
F-Term (11):
4D012CA20 ,  4D012CB15 ,  4D012CD01 ,  4D012CD07 ,  4D012CE01 ,  4D012CF05 ,  4D012CH02 ,  4D012CJ01 ,  4D012CJ02 ,  5G017DD07 ,  5G028GG05

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