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J-GLOBAL ID:200903057705366141

ガス流れからペルフルオロカーボン類を分離除去する方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995122731
Publication number (International publication number):1996309146
Application date: May. 22, 1995
Publication date: Nov. 26, 1996
Summary:
【要約】【目的】 ガス流れからペルフルオロカーボン類を吸着によって除去するための効率的な方法を提供する。【構成】 ガス流れを、FAU構造の高シリコン吸着剤、BEA構造の高シリコン吸着剤、MOR構造の高シリコン吸着剤のような1種または2種以上のエネルギー的に均質な吸着剤床を用いる吸着工程に供することによって、ガス流れからペルフルオロカーボン類を回収する。吸着工程は好ましくは圧力スイング吸着または温度スイング吸着である。
Claim (excerpt):
ペルフルオロ化炭化水素と1種または2種以上の永久気体を含んでいるガス流れから少なくとも1種のガス状の前記ペルフルオロ化炭化水素を分離する方法であって、前記ガス流れを、FAU構造の高シリコン吸着剤、BEA構造の高シリコン吸着剤、MOR構造の高シリコン吸着剤、少なくとも4.5オングストローム単位の空孔径を有するカーボンモレキュラーシーブ、炭化したスルホン化スチレン-ジビニルベンゼン・コポリマー、M41S構造クラスの中孔質シリケート、およびこれらの混合物から選択された吸着剤に通し、それによって前記少なくとも1種のペルフルオロ化炭化水素を前記ガス流れから吸着する方法。
IPC (4):
B01D 53/70 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/81 ZAB ,  B01J 20/18
FI (3):
B01D 53/34 134 E ,  B01J 20/18 B ,  B01D 53/34 ZAB B

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