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J-GLOBAL ID：200903057711419745

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  山近 幹雄 ,  村田 誠 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993014412
Publication number (International publication number)：1994202334
Application date： Jan. 04, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 各種の放射線に対して有効に感応するとともに、良好なパターン形状およびリソグラフィープロセス安定性を有し、高感度且つ高解像度で、しかも現像性、接着性等にも優れたレジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)ヒドロキシスチレン系重合体および/またはノボラック系重合体中のフェノール性水酸基の水素原子を、下記式で代表される2-オキソ有機基で置換した重合体、並びに(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

(イ)下記式(1)あるいは式(2)で表される少なくとも1種の繰返し単位を有する重合体および下記式(3)あるいは式(4)で表される少なくとも1種の繰返し単位を有する重合体からなる群から選ばれる少なくとも1種の重合体、並びに(ロ)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、R1は水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を示し、R2およびR3は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子または炭素数1〜3のアルキル基を示し、R4およびR5は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数2〜5のアルコキシアルキル基もしくは炭素数7〜12のアラルキル基を示すか、またはそれらの何れか一方がR6と結合して形成される5〜8員環の構成単位を示し、R6は炭素数1〜12の1価の有機基を示すか、またはR4もしくはR5と結合して形成される5〜8員環の構成単位を示し、式(2)におけるmは1〜6の整数である。但し、R1〜R6はそれぞれ、式(1)と式(2)とで同一でも異なってもよい。〕【化3】【化4】〔式(3)および式(4)において、R7〜R11 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示し、R12 およびR13 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数2〜5のアルコキシアルキル基もしくは炭素数7〜12のアラルキル基を示すか、またはそれらの何れか一方がR14 と結合して形成される5〜8員環の構成単位を示し、R14 は炭素数1〜12の1価の有機基を示すか、またはR12 もしくはR13 と結合して形成される5〜8員環の構成単位を示し、式(4)におけるnは1〜6の整数である。但し、R7〜R14 はそれぞれ、式(3)と式(4)とで同一でも異なってもよい。〕

IPC (3)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027